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掃描電子顯微鏡(SEM)的物鏡系統(tǒng)正在對(duì)準(zhǔn)納米級(jí)樣品時(shí),實(shí)驗(yàn)樓外一輛重型卡車(chē)駛過(guò)的震動(dòng),讓顯示器上的原子晶格圖像瞬間模糊成雪花噪點(diǎn)。這種看似微小的環(huán)境震動(dòng),正在摧毀價(jià)值千萬(wàn)的精密儀器所追求的終極目標(biāo)——原子級(jí)分辨率成像。在追求微觀世界清晰度的科技競(jìng)賽中,主動(dòng)減震臺(tái)正成為現(xiàn)代電鏡實(shí)驗(yàn)室不可或缺的"定海神針"。
電子顯微鏡對(duì)成像的精度要求極高,微小振動(dòng)都可能?chē)?yán)重影響成像質(zhì)量。